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类金刚石膜 发布于:

类金刚石(diamond-like carbon,DLC)具有比较高的硬度、高导热性、高绝缘性、良好的化学稳定性、从红外到紫外的高光学透过率和良好的减摩特性等。这与金刚石相似,但是,除减摩性能优良外,其它性能均低于金刚石膜。类金刚石膜可广泛用于机械、电子、光学、热学、声学、医学等领域,并且作为减摩耐磨涂层应用于航空航天、金属加工、医疗器件等众多领域。

类金刚石碳(DLC)是非晶结构,碳原子主要以sp3和sp2杂化键结合。碳元素屑愚境迁端因碳原子和碳原子之间的不同结合方式,从而使其最终产生不同的物质:金刚石(diamond)中碳碳以sp3键的形式结合;石墨(graphite)中碳和担芝柜碳以sp2键的形式结合;类金刚石影察全(员汗汽妹DLC)膜中,碳碳则是以sp3和sp2键的形式结合,生成的无定形碳的一种亚稳定形态,可以包括很宽性质范围的非晶碳,因此兼具了金刚石和石墨的优良特性。

类金刚石膜可分为无氢类金刚石碳膜(a-C)和含氢金刚石碳膜(a-C:H)。在含氢的DLC膜中存在一定数量的C-H键。踏跨旬含壳订讲氢DLC又称为α-C:H,由于其具有良好的减摩耐磨作用,在摩擦副固体表面改性方面广泛应用。无氢类金刚石膜包括无氢非晶碳(α-C)和四面体非晶碳(tetrahedral carbon,简称ta-C)膜。α-C膜含有一些sp3键;ta-C膜中以sp3键为主(sp3>70%),其具有强度高的特点,其可用于半导体器件、计算机硬盘、摩擦副表面改性、零部件表面改性等。


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